技术编号:20129317
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及过氧化氢提纯技术领域,具体为超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备。背景技术过氧化氢广泛应用于多个领域,具有漂白、氧化、消毒、杀菌等多种功效,超净高纯过氧化氢在大规模集成电路和光伏行业用做清洗剂,主要用于芯片和硅园片的清洗和蚀刻,过氧化氢的纯度和洁净度对电子产品的成品率、电性能及可靠性有着十分重要影响,目前过氧化氢采用蒽醌法制备,用该种方法获得的过氧化氢溶液含有诸多的无机离子或化合物杂质,因此过氧化氢溶液需经提纯处理,以除去杂质,达到要求的高纯度,尤其在电子工业,需要极高纯度的过氧化氢溶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。