技术编号：2013710
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在由陶瓷衬底、硅衬底、玻璃衬底等脆性材料形 成的板材上穿设圆形孔的加工方法。背景技术作为在陶瓷衬底、硅衬底、玻璃衬底等脆性材料上穿设圆形孔的 加工方法，使用金刚钻等空心钻在从板材一侧面进行穿孔的方法是众 所周知的。然而，如果使用空心钻从板材一表面一直穿设出通孔，则容易在 孔的周边上产生缺口或裂纹。因而，提出了各种有关使用第一空心钻从从板材一侧表面不贯通 地穿设出凹部、使用第二空心钻从板材另一侧面与第一空心钻同心相 向地穿设出通孔的方法。例如特...
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