技术编号：20152360
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种用于半导体制造设备的钟摆阀。背景技术一般在半导体元件的制造工程中，为了给真空反应室等需要真空的空间达到真空状态，需要连接真空泵去抽吸反应室内的空气。在连接上述反应室与真空泵的连接管上安装钟摆阀，从而开关连接管，控制真空泵的抽吸状态。如图1所示，现有半导体设备用钟摆阀主要是由安装在连接反应室(未图示)与真空泵(未图示)的连接管(未图示)上的阀门本体1与，安装在阀门本体1内部做振子运动，开关上述连接管的振子板2与，驱动振子板2并能正、逆回转的驱动电机3与，贴紧...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。