技术编号:2015425
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体生产元件的制作方法及产品,尤其是一种悬臂石英桨的制作方法及产品。背景技术从硅片到芯片的加工过程中,片子进出炉管的传统方式是推拉式,但是随着芯片直径加 大,自重增加,推拉式因为与炉管直接接触,容易对炉管造成损伤,因此这个加工过程就由 传统的推拉式变为悬臂式的硅桨,悬臂式硅桨可以保证芯片与炉管的同心度,进而使扩散、 氧化更均匀,并且保证了芯片的承载器不与炉管直接接触,延长了炉管的使用寿命,但是硅 桨不易清洗、质地较脆、易断裂,并且断裂后不能修补...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。