技术编号:20163997
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜的制备技术领域,尤其涉及一种制造超导电缆导体薄膜的方法。背景技术目前,脉冲激光沉积薄膜技术作为实用范围最广的方法被广泛用于高温超导薄膜、铁电薄膜、光电薄膜、半导体薄膜、金属、超硬材料薄膜等的制备和研究。脉冲激光薄膜沉积技术过程本身的复杂性是其区别于其他技术的主要地方,它不仅需要考虑激光与靶的相互作用,还要考虑此作用的产物在空间的传输和在基片上的沉积,而每个过程之间还存在复杂的相互影响,因此,用完整的数学模型描述其中的整个物理过程是极其困难的。怎样通过可以确定的沉积参数来预测或推断液...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。