技术编号:20179715
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及大气污染防治技术领域,更具体地说,涉及一种用于半导体行业的废气处理系统。背景技术随着我国经济的快速发展,挥发性有机物vocs(volatileorganiccompounds)大量产生,vocs中的碳氢化合物与氮氧化合物在紫外线的作用下反应生成臭氧,可导致大气光化学烟雾事件发生,危害人类健康和植物生长,且vocs参与大气中二次气溶胶的形成,二次气溶胶多为细颗粒,不易沉降,能较长时间滞留在大气中,对光线的散射力较强,能显著降低大气能见度。目前我国大部分城市大气环境已呈现区域性霾污染、...
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