技术编号:20210664
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种scalnsaw谐振器的制备方法,属于半导体制造领域。背景技术随着5g通信时代的到来,以及物联网技术的迅猛发展,移动终端产品开发出了各种应用,对saw谐振器的材料和结构设计等方面提出了越来越多的需求。近年来,声表面波(saw)谐振器已经广泛的用于通信系统、生物传感和微流体应用等领域(prog.mater.sci.,89,31-91,2017)。在各种压电材料中,aln薄膜因其电阻率较高,热膨胀系数较低,硬度高,热导率高,声速较大,压电性能较好等优点而受到广泛的关注(commun.t...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。