技术编号:20269196
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密加工技术领域,具体涉及一种基于反射原理的气浮主轴回转运动误差补偿装置及其对气浮主轴回转误差的检测和补偿方法。背景技术随着科学技术的发展,气浮轴承具有极小的摩擦系数、较高的回转精度和无污染等优点,在精密机械与测量仪器中获得了越来越广泛的应用。气浮静压轴承集中体现了高速、高效、高精密的加工性能,是高精密机床主轴的主要发展方向之一。在气浮主轴的工作过程中,刀头的进给、切削力和主轴的高速旋转等都易导致主轴的回转误差增大,从而机床的加工精度难以保证。目前,气浮轴承在工作过程中由于振动或者刀具...
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