技术编号：20275236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。各种类型的mems部件需要用作例如压力传感器、气体传感器和用于超声或可听声音的传感器（即麦克风）之类的环境进入端口（accessport）的封装开口以及如超声发射器之类的行动器（actor）。取决于此类部件的构造和要求，它们易于遭受由粒子进入该端口并干扰敏感的内部结构而引起的功能降级或完全失效。特别地，电容性mems麦克风受到该问题影响。原则上，声电换能器由两个或更多平行板组成，它们中的至少一个（“膜”）是不可渗透的和可移动的，至少另外一个（“背板”）是穿孔（perforated）的和刚性的。为...
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