技术编号：20288000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统领域，尤其是一种高占空比、大驱动力的反射镜。背景技术在光通信、激光投影、激光雷达、三维成像等领域，需要配置具有偏转功能的反射镜。特别是在激光雷达领域，为实现远距离精确探测，需要大口径、大功率激光器作为光源，这样就对用于光束反射的反射镜，提出了大尺寸、大角度的要求。应用mems工艺制作反射镜，具有精度高、易批量、工艺成熟的优势。mems指微机电系统（micro-electro-mechanicalsystem），是在微电子技术基础上发展起来的革命性新技术，融合光刻、腐蚀、薄膜、...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。