技术编号：20407552
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及专用于制造传感器的设备技术领域，具体涉及一种导气垫圈。背景技术压差式传感器由上电极、绝缘体和下电极等等多个组件构成。当电极受压力作用时，受力电极会发生一定的变形，因此，上下电极之间的距离发生一定的变化，从而使探测信号发生变化。压差式传感器制备过程中，为了调控压差两电极之间的距离。通常通过更换一个或者多个不同厚度的硬材质调距垫圈，目的是限定极小压差探测信号的测试范围。然而，由于压差式传感器内部配件的加工精度和平整度要求极高，采用现有的调距垫圈进行调节间距时，容易阻碍两电极之间的气体流...
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