技术编号：20443043
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微纳结构加工领域，具体地，涉及一种光刻工艺方法，尤其涉及一种用于太赫兹折叠波导慢波结构的制备方法。背景技术太赫兹科学与技术从20世纪80年代中期开始发展，随着科学技术的发展，特别是超快技术的发展，使获得宽带稳定的脉冲太赫兹源成为一种成熟技术，太赫兹技术也得以迅速发展。从20世纪90年代中期开始，陆续有发达国家相关部门对太赫兹科学研究项目持续提供资金支持。并且在2004年，美国mit将太赫兹科技评为“改变未来世界的十大技术”之一。作为一种极具发展潜力的太赫兹器件折叠波导慢波结构，它同时具...
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