技术编号：20443049
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高温微纳实验力学装置技术领域，尤其涉及一种力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法。背景技术原位观察技术在透射电子显微学研究中是当今的研究热点。通过在样品上施加各种物理作用，例如电、磁、力、热等外部激励，利用透射电子显微镜(transmissionelectronmicroscope，简称tem)来观察材料的微观结构和化学状态的变化，可以直观地研究材料或器件在实际使用过程中的性能表现，对于材料性能的研究有着重要的实际意义。由于电子显微镜原位技术中基于不同物理功能的原位样品台结构复杂、...
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