一种电容式柔性传感器的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:20451739

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本发明涉及一种电容式柔性传感器的制备方法。属于柔性电子设备领域。背景技术柔性传感器因其在人体健康监测、可穿戴电子设备、人机交互和电子皮肤等领域巨大的应用前景,成为了近年来的研究热点。与压阻式、压电式和场效应晶体管式等类型传感器相比,电容式柔性传感器具有能耗低、响应速度快、低滞后等特点,受到了广泛的关注。电容式柔性传感器能够将外部机械刺激信号转化为电容值的变化,电容值变化量随即被系统识别,从而达到传感的目的。常规的平行板电容式柔性传感器为三夹层结构,包括顶、底部的电极层和中间的绝缘介电层。其中介电...
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