技术编号：20490689
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于硅微机械传感器领域，涉及一种超声换能器及其制备方法，特别是涉及一种压电微型超声换能器及其制备方法。背景技术超声换能器已经在许多领域取得了广泛的应用，例如：无损检测、目标识别、医学成像等等。传统的超声换能器大多基于体压电陶瓷制作，与空气或液体的声学耦合较差，同时，在三维成像领域，将体压电材料加工成二维传感器阵列的成本高昂，这些都限制了传统超声换能器的应用。随着微机电系统(micro-electromechanicalsystem，mems)技术的不断进步，mems传感器以其芯片结构尺寸更...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。