一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:20490695

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本发明涉及微波系统电子器件技术领域,具体涉及一种双通道自检测的mems微波功率分配器。背景技术功率分配器是一种将一路输入信号能量分成两路或多路输出相等或不相等能量的器件。将多路信号能量合成一路输出的器件称为功率合成器。随着通讯和物联网行业发展,微波/毫米波器件的需求日益增加,特别是微波功率分配器作为一种微波功率分配与合成的器件,在微波系统中广泛应用。并且,对微波功率分配器的性能和可靠性提出了更高要求。通过对传统微波功率分配器的应用调研发现,它们在微系统组件中因装配焊接的问题会造成其性能劣化以及长...
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