技术编号：20495219
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及mems振动元件、mems振动元件的制造方法及振动发电元件。背景技术作为从环境振动获取能量的能量收集技术之一，公知使用mems(microelectromechanicalsystems)振动元件亦即振动发电元件来根据环境振动进行发电的方法(例如参照专利文献1)。环境振动包括各种频带，但为了有效地进行振动发电，需要使振动发电元件的共振频率与作为环境振动的功率谱较大的频率的主要频率一致。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-172523号公报发明内容发明所要解决的课题主要频率...
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