技术编号：20505859
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板处理装置以及基板处理方法。背景技术已知被用于半导体装置以及液晶显示装置等电子部件的基板通过基板处理装置进行处理。作为基板的处理，在电子部件的制造工序中，进行在基板的表面反复实施成膜以及蚀刻等处理来形成微细图案的工序。其中，为了良好地进行对基板表面的微细加工，需要将基板表面保持为洁净。因此，典型地，利用冲洗液对基板表面进行清洗处理。在该情况下，在清洗处理结束后，需要去除附着于基板表面的冲洗液来使基板干燥。该干燥处理中的重要的一个课题为，使基板干燥而不使形成于基板表面的图案倒塌。作为解...
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