技术编号：20614490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻机，具体为一种对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置及其检测方法。背景技术ronchi光栅剪切干涉仪具有共光路、没有空间光程差、不需要单独的理想参考波面、精度高、灵敏度高、结构简单等优点；是测量光学系统波像差的一种有效手段。特别是对于高端投影光刻机，剪切干涉仪是投影物镜波像差原位及离线检测的主要技术方案之一。在先技术1(josephbraat,augustusj.e.janssen.improvedronchitestwithextendedsource,journalofthe...
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