技术编号：20629136
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械传输技术领域，尤其涉及一种旋转装置。背景技术真空工艺领域涉及诸多腔室结构，工件在真空腔室进行工艺时往往要根据需要进行各种传输或旋转操作，例如工件的水平传输以及工件的自转。工件的水平传输是通过旋转装置带动工件沿水平向运动，从而使工件经过多个工艺腔以达到连续进行不同工艺的目的。工件的自转是将工件固定在旋转装置上使工件进行旋转运动，以达到工艺要求。无论是工件的水平传输，还是工件的自转，都需要驱动旋转装置进行旋转操作。现有的旋转装置用于实现旋转操作的方式主要有两种，一种是旋转装置的自动...
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