技术编号:20648974
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及平面靶材生产辅助装置技术领域,具体涉及一种平面靶材背面金属化检测装置。背景技术靶材是磁控溅射镀膜的原材料。靶材使用时一般是与背板(通常是铜板)焊接在一起的,这个过程在行业内叫做绑定。目前普遍使用的绑定材料是金属铟,为了让靶材能与金属背板牢固的焊接在一起,通常会在靶材的背面先镀上一层金属铟,这个过程在行业内叫靶材金属化。金属化效果不佳容易导致靶材在使用过程中脱落,造成严重的损失。为了保证靶材金属化的质量,金属化完成后需要对靶材金属化效果进行检测。但是,目前针对靶材金属化效果的检测并无...
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