技术编号:20670853
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光探测技术领域,尤其涉及一种可见光/近红外波段光探测技术,具体而言涉及一种集成多层光学薄膜的超导tes单光子探测器和制备方法。背景技术超导相变边缘探测器是一种热探测器,吸收电磁辐射能量后其电子温度升高,从超导态转变为电阻态,在恒压偏置的条件下其电流产生变化,可以实现从毫米波、光学/近红外到x射线、γ射线的高灵敏度探测,广泛应用于天文、量子信息,生物检测等科学领域。光学/近红外波段的光子能量(~ev)远远大于所用超导材料的能隙(~mev),因此即使吸收一个光子也能使超导tes探测器产生明...
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