技术编号：20685623
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面轮廓测量仪器以及测量衬底的表面轮廓的方法。背景技术衬底的表面轮廓(又称表面粗糙度)能够决定衬底的许多重要特性，包括衬底的摩擦系数和粘附难易性。因此，确定衬底表面轮廓的测量值十分有益。当前存在几种用于测量衬底表面轮廓的技术，所有这些技术都有相关缺陷。拓制带涉及使用可压缩泡沫来获取表面印记，然后用测微计来测量该印记。这种技术可能存在导致测量误差的问题。此外，不会自动电子记录测量值。基于触控笔的仪器在表面上拖动细针并伴随其移动测量细针的挠度。这类仪器极易受振动影响，并且细针很快就会磨损。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。