技术编号：20695896
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密与超精密器件加工的技术领域，尤其涉及一种太赫兹级折叠波导行波管的电子束孔成形装置及方法。背景技术真空电子器件可以作为一种高功率的辐射源，在航天技术、雷达技术、电子对抗技术以及通讯技术中得到了广泛的应用，尤其在国防装备中，被誉为装备工程的“心脏”。因为目前制约通信系统工程化应用的主要瓶颈是大功率太赫兹功率源技术，基于固态功率合成方式的功率源技术目前主要还停留在数瓦级的输出功率水平。而后续远距离(84000km)、高速(单通道数gbps～数十gbps)的太赫兹星间通信系统，需要至少65...
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