技术编号：20696917
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及电子技术应用领域，特别涉及一种硅基衬底、衬底基板及其制造方法、光电器件。背景技术硅基光电集成技术指的是在硅基衬底上集成光电器件的技术。采用该技术形成的光源、放大器或调制器等器件具有低成本、微尺寸以及高集成度的优点。然而，由于硅是间接带隙材料，发光特性较差，而三五族(也称iii-v族)材料具有优良的光学特性，因此，将三五族材料制备在硅基衬底上可以形成高效发光的器件，为光电器件的形成提供良好的基础。例如，该三五族材料可以为砷化铟(indiumarsenide，inas)或砷化镓(galli...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。