技术编号：20699369
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种高精度线性马达一次对位平台，尤指一种精密对位平台，具有方便组装、成本低且具高精度，完成工作物一次对位功能，可节省对位作业工时。背景技术随着现今产业的导向，近年来随着工具机、各种产业机械与量测仪器的高精度化，因此，不论是在精密机械、半导体产业、微奈米科技皆朝微小化与精密化发展，再加上超精密的加工机、半导体制程装置、电子信息机器与原子力显微镜等皆需要高精密的对位技术与仪器进行辅助，使得半导体技术进入到奈米级的领域，进而成为目前的主流之一。依上述可得知，目前，在短行程的对位平台大多以伺服...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。