技术编号:20728355
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ito旋转靶绑定设备技术领域,尤其是涉及一种ito旋转靶绑定设备。背景技术ito旋转靶材呈空心圆管状,能够围绕固定的条状磁铁组件旋转,可360度均匀刻蚀靶面,具有利用率高,镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。ito薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,被广泛应用于平面相似等领域。ito是一种n型氧化物半导体-氧化铟锡,ito的材料脆硬,ito旋转靶材在绑定过程中由于背管与变形、绑定焊料的流动性不佳导致焊合率低、靶材受热不均等多个因素影响ito旋转靶材绑定的质量不稳定,ito旋转靶材的绑定...
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