一种大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪的制作方法技术资料下载

技术编号:20762419

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本发明涉及芯片光谱仪,尤其涉及一种大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪。背景技术光谱仪通过对检测样品的光谱分析来反馈该样品的重要信息,在环境保护、生物和化学检测、工业和农业生产、医疗诊断和天文探索等方面具有广泛应用。而光子集成光谱仪具有尺寸小,成本低、稳定性好、功耗低等优点,在小型化和便携式的光谱分析仪器中具有非常重要的应用前景。目前主要有三类芯片光谱仪,第一种是基于片上马赫增德尔干涉仪(mzi)阵列的傅里叶变化光谱仪(fps)(文献[1]przemekj.bock,etal,"high-reso...
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