技术编号:20871001
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型总体上涉及增加在声学换能器中使用的振膜的柔度的系统和方法。背景技术麦克风组装件被用于电子装置中,以将声能转换为电信号。微米和纳米级制造技术的进步使得开发出越来越小的微机电系统(mems)麦克风组装件。一些麦克风组装件包括具有振膜的声学换能器。一些振膜可能具有固有的拉伸应力,这使得很难控制麦克风的灵敏度。实用新型内容本文所述的实施方式总体上涉及用于减小声学换能器的振膜中的应力的系统和方法,特别是涉及包括这样的振膜的声学换能器,即,该振膜包括具有不同应力的外侧部分和内侧部分,以使振膜的总拉...
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