一种基于纳米颗粒填充工艺的微型化电感制作方法和电感与流程技术资料下载

技术编号:20873159

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本发明涉及电子元器件、微电子工艺技术等领域,具体涉及一种带磁心微型化电感的制作方法和电感,利用微电子工艺技术实现精密磁心的制作和三维互联,实现了高容量的小型化电容器件。背景技术随着人们对电子产品的要求向小型化、多功能化等方向的发展,人们努力寻求将电子系统越做越小,集成度越来越高,但是由于磁性材料与半导体工艺不易兼容,磁性元件在电子设备小型化进程中落后于其他元器件的发展,无法实现高水平的小型化。为了解决这一问题,研发人员开发出了多种沉积磁心薄膜的加工方法,例如筛网印刷、溅射和电镀等。但是用筛网印刷...
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