技术编号:20876611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及靶材焊接领域,具体涉及一种c-sic溅射靶材的焊接方法。背景技术c-sic为粉末冶金产品,密度低,易脆,产品从高温到低温急速冷却下容易碎裂。c-sic靶焊接背板材料主要为无氧铜材质,具有较高的硬度和强度。虽然现阶段公开了很多靶材的焊接方法如cn109807453a公开了一种高纯铜旋转靶的端头焊接方法,本发明的端头焊接方法分三步对端头焊接口或尾盖焊接口进行焊接,第一步为点焊接,第二步为弧段焊接,第三步为圆周焊接。本发明方法能防止高纯铜旋转靶材变形,铜合金端头与高纯旋转靶材的同轴度高,有效...
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