技术编号:20890439
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于多晶硅生产领域,具体涉及一种多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管。背景技术改良西门子生产多晶硅工艺中,氯氢化流化床补加硅粉采用间歇式操作,影响流化床流化质量,不能实现连续补加硅粉主要因为硅粉硬度大(莫氏硬度7.0),高压工况下气力输送至流化床,对输送管线、阀门耐磨要求非常高,出现磨穿泄漏后危害较大。现业内采用串联2~3台盘阀控制流化床补加硅粉操作,是使用氢气对硅粉浓相输送的过程:(1)首先使用一股氢气(下称带料氢)将盘阀至流化床段管线持续吹扫,确保管线畅通;(2)先将硅粉料罐充压,并维持比...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。