一种多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管的制作方法技术资料下载

技术编号:20890439

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本实用新型属于多晶硅生产领域,具体涉及一种多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管。背景技术改良西门子生产多晶硅工艺中,氯氢化流化床补加硅粉采用间歇式操作,影响流化床流化质量,不能实现连续补加硅粉主要因为硅粉硬度大(莫氏硬度7.0),高压工况下气力输送至流化床,对输送管线、阀门耐磨要求非常高,出现磨穿泄漏后危害较大。现业内采用串联2~3台盘阀控制流化床补加硅粉操作,是使用氢气对硅粉浓相输送的过程:(1)首先使用一股氢气(下称带料氢)将盘阀至流化床段管线持续吹扫,确保管线畅通;(2)先将硅粉料罐充压,并维持比...
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