技术编号:20894241
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于多晶技术领域,涉及一种硅芯铸锭炉用炉体固定结构。背景技术硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备,而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有技术中,在硅芯铸锭过程中,需要进行抽真空的操作,抽取真空的过程中,容易使得长方形炉体受力不均匀,从而产生变形,影响铸锭过程。一般的硅芯铸锭炉都是直接将炉体放置在机架上,上述...
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