技术编号：20903608
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种双向驱动微镜芯片，属于微机电系统技术领域。背景技术相对于传统的机械，mems器件的尺寸更小，一般在微米到毫米量级。它基于半导体集成电路(ic)制作工艺，可大量利用ic生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。常用的微机电系统驱动结构包括静电驱动，被广泛应用，其中静电驱动主要采用梳齿结构。梳齿结构一般分为两类，一类是面内梳齿结构，用作面内结构驱动，一类是上下梳齿结构，用作面外驱动。面外驱动的动齿和固齿一高一低，不在一个平面。上下...
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