技术编号:20910303
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测工艺领域,具体为一种圆柱状工件表面平面度检测工艺设备。背景技术平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差,公差带距离为公差值的两平行平面之间的区域,平面度属于形位误差中的形状误差。圆柱状工件是常见的一种工件,并且圆柱状工件是由一个圆形侧面以及两个底面组成的,并且两个底面以及圆形侧面都可作为工作面使用,因此在工件投入使用前对两个底面以及圆形侧面形位误差检测是必要的,而现有检测工艺技术中,在对圆柱状工件做平面度的检测时,需要对两个底面以及圆形侧面分开进行检测,并且检测结果一般需...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。