技术编号:20911452
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于硫系薄膜技术领域,更具体地,涉及一种高品质稀土掺杂的硫系薄膜的制备方法。背景技术硫系玻璃,即是以硫化物、硒化物、碲化物为主要成分的材料,具有优异的红外透光性、低的折射率温度系数、良好的色散特性、高的三阶非线性、显著的光敏性等特点,在红外传输、非线性光学、光栅光学等领域具有广泛的应用前景。近年来,采用稀土掺杂的硫系薄膜制备的光学器件已被应用于发光源、光信号调控、光开关、光存储等领域。硫系薄膜的制备方法有很多种,例如热蒸镀、磁控溅射法、化学气相沉积法、脉冲激光沉积法等方法,这些方法各自有各...
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