技术编号：20913374
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种高性能气体检测器件用恒温结构及制备方法。背景技术传统的气体检测器件结构主要是，将传感信号处理芯片、气敏电阻、其他有/无源元器件等分离元器件直接装贴在氮化铝陶瓷基片(al3n4)上，再进行电路焊接，完成电路连接，其结构如图1所示。但该结构的气体检测器件会存在下述问题：气敏电阻仅为单层表面，对气体的感应面积非常小，影响敏感程度及传感信号的灵敏度；同时，整个器件工作在自然环境中，随着温度的变化，各组成部分的电性能及物理性能会发生一定的变化，从而影响检测精度。同时，...
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