技术编号:20913601
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及gan基器件的集成传感领域,具体为一种集成式gan器件实时测温系统及其制备方法。背景技术gan是第三代宽禁带半导体材料之一,其具有宽禁带宽度、高击穿电场、电子饱和速度快、可在高温工作等优势,在电力电子器件方面显示出良好的应用前景。在gan基器件中,algan/gan异质结因自身具有很强的自发极化效应和压电极化效应,会在异质界面形成高达1013cm-2的二维电子气(twodimensionalelectrongas,2deg),且人们已经利用algan/gan异质结二维电子气研发设计出了...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。