技术编号:20913961
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及mems器件领域,尤其涉及mems惯性传感器及应用方法和电子设备。背景技术mems(microelectromechanicalsystem,微机电系统)器件由于其体积小、成本低、集成性好等特点,已得以越来越广泛的应用在如消费电子、医疗、汽车等产品中。其中,惯性传感器的应用已大规模铺开,对各种控制器的应用范围也越来越广,包括空中鼠标、tws耳机、ar及vr设备等。在一些电子设备中,基于应用的需要,会配置多种传感器,如tws耳机,其中会配置mems麦克风用于声音信号采集,惯性传感器用于姿...
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