技术编号：20917244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种传感器，特别涉及一种传感器用镍铬-铝电极图形。背景技术由于器件结构的需要，柔性湿度传感器经常需要用到铝和镍铬两种电极材料：铝电极通常用与信号处理电路相连而镍铬用做敏感材料电极，两种电极还需互联。来目前通用的在金、铜、铝等导电材料上的镍铬薄膜电极图形化的方法一般都是采用两种刻蚀液——一种用来刻蚀镍铬、一种用来刻蚀下层金属（金、铜、铝等）。但是该方法的缺点在于需要使用两种刻蚀液，成本相对较高；此外，对于镍铬-铝构成的电极图形，镍铬刻蚀液需要加热到特定温度才能起到有效的刻蚀效果，如果不小...
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