技术编号：20922020
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容的实施方式大体涉及用于将基板保持在疏水性表面上的静电吸盘(e-chuck)。背景技术随着电子基板的临界尺寸在厚度上继续缩小，对能够充分地支撑和处理基板(诸如设置在洗涤中的基板)的半导体处理设备的需求增加。静电吸盘可为便携的或物理定位并固定在处理腔室内，以在处理期间将基板大致支撑并保持在固定位置。然而，发明人已经观察到在潮湿条件下(诸如洗涤条件)的基板通常解吸附(de-chuck)，因为水或其他导电液体可能破坏静电吸盘的夹持接合。在潮湿条件下解吸附是有问题的，因为有损坏基板而无法修复的风...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。