技术编号:20937470
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域:本发明属于光学检测和机器视觉领域,尤其涉及一种基于双色分离成像法的晶粒双面同时等光程共焦成像检测的装置及方法。背景技术:晶粒相对面或相邻面同时缺陷检测的装置与方法需要解决的主要光学技术问题包括双面检测光路的等光程共焦成像。现有的授权专利与专利申请均采用大景深远心成像镜头来解决双面成像光路之间光程差引起的共焦与分辨率问题,专利申请(申请号2019113692573、2020101330447)解决了晶粒相对面同时等光程共焦成像及等照度照明检测的方法,如图1,2所示,而图3提出的光学检测装...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。