技术编号：20957089
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请要求于2017年10月16日递交的欧洲申请17196670.8的优先权，并且所述欧洲申请的全部内容通过引用并入本发明中。本发明涉及一种用于测量由光刻过程形成在衬底上的结构的量测设备、一种光刻系统，和一种测量由光刻过程形成在衬底上的结构的方法。背景技术光刻设备是将期望的图案施加至衬底上(通常施加至衬底的目标部分上)的机器。光刻设备可以用于例如集成电路(ic)制造中。在那种情况下，图案形成装置(其替代地被称作掩模或掩模版)可以用以产生待形成在ic的单层上的电路图案。可以将这种...
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