技术编号：20965542
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种识别划片槽掩模版图中标记图形的方法和计算机设备。背景技术在同一片晶圆上，芯片(die)和芯片之间形成有划片槽结构，划片槽结构通常包括芯片和芯片之间的切割线，以及设置于切割线上的标记图形，该标记图形可用于光刻对准和芯片测试。在芯片的掩模板设计业务中，将芯片产品的设计数据输入检查之后，可根据掩模板和芯片的尺寸规格等数据进行划片槽掩模版图的设计。在芯片的制造过程中，掩模板放置的准确度直接影响成品芯片的质量，而掩模板放置的准确度可通过检测标记图形是否放置正确进...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。