技术编号:21040617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光刻胶生产应用技术领域,具体为一种光刻胶生产用收纳设备。背景技术光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,光刻胶的技术复杂,且品种较多,根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类,光照后形成不可溶物质的是负性胶,而反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。光刻胶在现如今应用已经十分广泛了,而光刻胶在需要收纳时通常都是人工收纳于存储装置内部,但是现有收纳方式基本都难以保证其安全性,且空气中的灰尘等杂物在接触到光刻胶后会对其产生影响,进而影响其质量,...
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