一种基于非对称干涉结构的位移检测系统及其检测方法与流程技术资料下载

技术编号:21106603

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本发明属于位移传感器领域,具体涉及一种基于非对称干涉结构的位移检测系统及其检测方法。背景技术高精度、非接触式位移测量在科学研究、工业生产以及航空航天领域具有广泛用途,加速度、速度、振动、压力等物理量都可以转化为位移来进行测量。现阶段,位移传感已发展出多种检测方式,如电容式、磁阻式、电感式和光学式等。基于光学结构的传感器,如光纤传感器的信号处理单元与无源传感探头完全分离,可大幅度降低传感器宕机事故的概率和维修成本,非常适合用于复杂恶劣的环境。由光纤端面和外部反射面构成的非本征光纤法布里-珀罗(fa...
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