技术编号：21106622
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及共焦显微测量技术中三维形貌基本几何参量表征技术领域，更具体的说是涉及一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法。背景技术反射式共焦显微镜因具有三维非接触无损测量而被广泛应用到材料表面形貌测量、半导体加工线宽检测、注射成型的微流控芯片沟槽成型检测等领域，是测量和检测微结构三维形貌常用的重要工具。在实际测量中，微结构形貌测量结果与真实形貌存在差异，如沟槽类样品，在边缘等空间频率分布丰富的位置的形貌出现严重退化，导致无法准确对沟槽的边缘准确定位，从而导致无法准确给出沟槽宽度，因此寻找一种合理的边缘定...
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