技术编号:21307228
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶炉使用技术领域,特别涉及用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置。背景技术目前,单晶炉是单晶产品拉制过程的基础环节,也是半导体材料硅由多晶转换成单晶成品的关键设备。单晶炉的安全可靠运行,才能保证产品正常生产。而单晶炉的防爆安全泄压装置是单晶设备安全可靠运行必不可少的一部分。然而,现有的单晶炉安全泄压设备,还存在一些不足:一、采用螺钉定位,螺钉的结构较为常规,在此处使用时存在弊端,一旦单晶炉内压力超过常压时可能会由于螺栓上的螺纹卡住盖板,而不能顺利实现泄压的目的,存在一定的危险性;二、有的...
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