技术编号：21314235
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明基于一种微机械装置，其具有硅基底，所述硅基底具有置于其上的氧化物层和置于其上的微机械功能层，它们平行于主延伸平面延伸，其中，至少在微机械功能层和氧化物层中构造有空穴。背景技术基于硅微机械的传感器在汽车制造和娱乐电子部件中使用，以用于测量加速度、转速、压力、磁场和其他变量。硅晶片技术带来了批量制造这些传感器的优点。娱乐电子部件领域中的主要发展趋势是结构元件的小型化、多个不同功能的集成以及成本降低。不同的传感器元件越来越多地集成在一个构件中，例如加速度和转动速率传感器。这既可以在封装中也可以在...
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