技术编号:21339232
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种时序控制表面微结构阵列加工装置,可用于材料表面微结构阵列加工,以调控材料表面的光学、摩擦学、润湿性等特性,增强其在光学、光电子、生物医学、机械、微流控等领域的功能应用。背景技术表面微结构阵列(如微凹坑、锥形阵列、微沟槽、微柱阵列等)对于调控材料表面的光学、摩擦学、润湿性等特性具有重要作用,在航空航天、微纳流控技术、太阳能电池、表面增强拉曼光谱学、生物医学等领域有着广泛的应用。如何在不同材料的表面上加工出特定的微结构阵列来满足在相关领域的应用也引起了学者们的关注。目前为止,学者们...
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